SPLEAD Thin Film Monitors

多層膜蒸着用膜厚レートモニター SQM160

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多層膜蒸着用膜厚レートモニター
SQM160
¥328,000

センサー入力:2ch(オプションで6ch)
周波数範囲4.0〜6.0MHz
分解能:±0.12Hz@4readins/sec
安定性:±0.2ppm total 0℃以上〜50℃
測定時間:0.10〜2sec
メモリ保存膜数:9
アナログ出力:2〜10VDC
デジタルI/O 2入力/4出力
インターフェイス:RS-232
電源:100V/20W