SPLEAD Magnetron Sputter Sources

UHVマグネトロンスパッタ源

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UHVマグネトロンスパッタ源
参考価格(マウントなし)
¥950,000

取付フランジ:ICF114〜選択可
メタルシール
ターゲットサイズ:φ2インチ
ターゲットの厚み:非磁性材3mm/磁性材1mm以下(Fe)
最大出力:300W(RF/DC)
冷却方法:水冷式 ベーキング:150℃
コネクタN型

カスタマイズ可