SPLEAD Magnetron Sputter Sources

HV磁性材 マグネトロンスパッタ源

型番 価格 個数 見積依頼
HV磁性材
マグネトロンスパッタ源
参考価格(マウントなし)
¥660,000

取付フランジ:ICF114〜選択可
Oリングシール(位置調整可能)
ターゲットサイズ:φ2インチ
ターゲットの厚み:非磁性材3mm/磁性材1mm以下(Fe)
最大出力:300W(RF/DC)
冷却方法:水冷式 ベーキング:150℃
コネクタ:N型
オプションシャッター 有

カスタマイズ可