SPLEAD Magnetron Sputter Sources

UHVマグネトロンスパッタ源

型番 価格 個数 見積依頼
UHVマグネトロンスパッタ源 ¥900,000

取り付けフランジ:ICF152
ターゲットサイズ:φ2インチ
ターゲットの厚み:非磁性材3mm/磁性材1mm以下(Fe)
最大出力:300W(RF/DC)
冷却方法:水冷式
ベーキング:150℃
コネクタ:N型
カスタマイズ可
オプションシャッター有

カスタマイズ可