SHMADZU Turbomolecular Pumps

磁気浮上型ターボ分子ポンプセット

STMP-203M(190L/S I)CF152

STMP-303M(320L/S) ICF152

STMP-403M(420L/S) ICF203

STMP-803M(800L/S) ICF203

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セット内容
ポンプ本体/コントローラー
制御ケーブル/空冷ファン

到達圧力:1×10-8オーダ(ベーク後)
圧縮比:1×109
冷却方法:空冷式
※タッチダウンベアリングは260回(停電)耐えます
※フランジはICF以外の仕様有
※ポンプの取付・交換作業も承ります(有償)

期間限定