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APC Pendulum Valve gate system setting

振子式バルブコントロールシステム
(硬質アルマイトボディ)

コンダクタンス0まで調整可能な圧力制御バルブ
排気系ゲートバルブ
真空計と接続して圧力制御する真空計電源を提供できます
USB ポートでコンピュータと接続すると、ソフト設定と制御できます
ローカルまたはリモートの操作制御、LCD状態表示装置
断電のリセットモジュールを選択購入可能

SPEC

材質 ボディ:A6061-T6
ゲート:A6061-T6
リークレート 1x10-5mbar.l /sec
サイクルライフ 200,000回
ベーキング温度 ボディ:<120℃
使用圧力範囲 1x10-6mbar〜1.2bar
最大差圧△P 2bar
圧縮エアー圧力 4〜6kg/cm2
開/閉時間 2/2秒
標準シール ゲート:バイトンOリング
ボンネット:バイトンOリング
駆動器 ステップモーター
重量 32kg
取付方向 水平(シリンダアップ)または垂直
オプション 他材質のゲートOリング
ヒーター

コントローラー付アクチュエーターユニット

消費電力 +24V DC(±10%)
100W max.(controller+motor) )
10W max. for Power Failure Option)
36W max. for Sensor Power Supply)
センサー入力 信号電圧:0-10V DCリニア圧力)
入力抵抗:Ri=100kΩ)
解像度:2.3mV)
サンプリングレート:1ms
制御精度 最大センサー範囲:0.2%
位置解像度 >8,000
周囲温度 最大50℃
スロットリングサイクル 200,000回
センサー供給 24V DCまたは±15V DC

SIZE

図面
ISO Model No. A B C D E F G Port
Dia.
O.D.
250 PVSV-HA-ISO250-M 100 338 655 475 283 248 470 254 335

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

 


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