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Pendulum Valve

振子式高真空バルブ(硬質アルマイトボディ)

排気系ゲートバルブ
SEMI,FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ
真空ポンプとチャンバー間のゲートバルブ
圧力制御可能なバルブが使用されることがあります

SPEC

材質 ボディ:A6061-T6
ゲート:A6061-T6
リークレート 1x10-5mbar.l /sec
サイクルライフ 200,000回
ベーキング温度 ボディ:<120℃
駆動部:<80℃
電磁弁:<50℃
使用圧力範囲 1x10-6mbar〜1.2bar
最大差圧△P 2bar
開いている最大差圧△P <5mbar
圧縮エアー圧力 4〜6kg/cm2
開/閉時間 4/4秒
標準シール ゲート:バイトンOリング
ボンネット:バイトンOリング
駆動器 圧空式(電磁弁制御)
重量 ISO200:25kg / ISO250:32kg
取付方向 水平(シリンダアップ)または垂直
オプション 他材質のゲートOリング
ヒーター

SIZE

図面
ISO Model No. A B C D E F G Port
Dia.
O.D.
200 PVSSV-HA-ISO200-P 88 189 563 386 415 202 394 200 285
250 PVSSV-HA-ISO250-P 100 201 655 475 438 248 467 254 335

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

特徴

中華民国特許申請中 M534899


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