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Rectangular Door Valve

ドアバルブ Door valve(EP)

200,300,450mmウェハ用半導体製造装置用のロードロックチャンバーのドアに最適

SPEC

メンテナンスサイクル 1,000,000回
リークレート 弁体:1x10-9 mbar.l /sec
表面処理 電解研磨
ベーキング温度 OPEN(弁体):<90℃
駆動部:<60℃
使用圧力範囲 1x10-8 mbar〜1.0 bar
駆動モード 圧空式 5〜7 Kg/cm2
標準シール ゲート:バイトンOリング
開/閉センサー DC4-24(V) or AC4-240(V), 50-40mA
電磁弁(オプション) DC24(V),AC24(V),AC110(V),AC220(V)
取付方向 垂直

SIZE

図面
Model No. D D1 D2 D3
GR-A-32222-D 222 32 239 48
GR-A-46236-D 236 46 253 62
GR-A-50336-D 336 50 352 66
GR-A-56496-D 496 56 512 72
GR-S-42222-D 222 32 239 48
GR-S-46236-D 236 46 253 62
GR-S-50336-D 336 50 352 66
GR-S-56496-D 496 56 512 72

外観寸法:広さの設計は国際規格と同様
A(厚み):18”(70mm),12”(60mm) , 10”(50mm)

Model No. Gate Gate seal Weight
GR-A-32222-D A6061-T6 Viton 9kg
GR-A-46236-D A6061-T6 Viton 9.5kg
GR-A-50336-D A6061-T6 Viton 10kg
GR-A-56496-D A6061-T6 Viton 11.5kg
GR-S-32222-D 304S.S Viton 11kg
GR-S-46236-D 304S.S Viton 12kg
GR-S-50336-D 304S.S Viton 14kg
GR-S-56496-D 304S.S Viton 18kg

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。


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