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Slit Valve

スリットバルブ

一般産業用から研究開発用に最適

製品応用例

トランスファーバルブは半導体、光電産業の成膜装置を汎用している

通常トラスファーシステム(transfer system)の間、又はトラスファーシステム(transfer system)とプロセスチャンバー(process chamber)の間など真空保持必要の箇所にロードロックチャンバー(load-lock chamber)

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

特徴

図面

スリットバルブ装置取付の案例

全自動複数チャンバー装置

製品構造と実物説明

 


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