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3-Position Gate Valve

3位置圧空作動式バルブ

コンダクタンス調整のため
OPEN-CLOSEの中間位置で停止可能

SPEC

リークレート 2x10-9mbar.l / sec for O-ring
使用圧力範囲 1x10-8〜1000mbar
メンテナンス
サイクル
ISO63〜ISO200 : 300,000回
ISO250以上 : 50,000回
ベーキング温度 OPEN : 200℃
CLOSE : 150℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 : SUS304
ベローズ : AM350
シール材 ボンネット : バイトンOリング
ゲート : バイトンOリング
電磁弁(オプション) DC24V / AC110V ※その他規格有
センサー(オプション) DC5〜24V 100mA 10W /
AC110〜240V 100mA 10W
オプション パーフロなどのOリングシール
粗引きポート(バイパス)、ベント
排気ポートの追加可

SIZE

図面
ISO Model No. A B C D E F G H L Port
Dia.
63 GVB3P-SS-ISO63-P 53 68 64 107 128 158 207 192 399 63.7
100 GVB3P-SS-ISO100-P 53.6 68 98 146 170 222 297 215 512 102
160 GVB3P-SS-ISO160-P 67 68 98 204 220 306.5 407 229 636 153
200 GVB3P-SS-ISO200-P 67 70 98 245 267 383 507 239 746 200

注:この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS

Air Control Solenoid ValvesBonnet Seal:VitonPosition Sensor JFS02

 


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