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Pneumatic UHV Gate Valve

大口径UHVゲートバルブ圧空式

UHV対応ゲートバルブ
一般産業用から研究開発用に最適
ポジションインジケーター付でオープン/クローズの確認ができます

SPEC

リークレート 5x10-10mbar.l / s
使用圧力範囲 1x10-10〜1000mbar
メンテナンス
サイクル
50,000回
ベーキング温度 OPEN : 200℃
CLOSE : 150℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 : SUS304
ベローズ : AM350
シール材 ボンネット : 銅ガスケット
ゲート : バイトンOリング
電磁弁(オプション) DC24V / AC110V ※その他規格有
センサー(オプション) DC5〜24V 100mA 10W /
AC110〜240V 100mA 10W
オプション パーフロなどのOリングシール
粗引きポート(バイパス)、ベント
排気ポートの追加可

SIZE

図面
ICF Model No. A B C D E F G H L Port
Dia.
Air
305 GVB-SS-CF275-P 106.4 95 114 323 360 505 690 340 1030 250 1/8”PT
356 GVB-SS-CF300-P 112.6 105 104 367 415 554 750 361 1111 305 1/8”PT

注:この表は横幅が広いため、横幅の狭いデバイスで表示した時にページをはみ出る場合があります。

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS

Air Control Solenoid ValvesBonnet Seal Copper Gate Seal VitonPosition Sensor JFS02

お客様ご指定のフランジISO-KF(ポート付、粗引、バイパスベント排気等)のご要望を基に別途お見積致します


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