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Manual UHV Gate Valve

UHVゲートバルブ手動式

UHV対応ゲートバルブ
一般産業用から研究開発用に最適
超高真空対応の最適・標準バルブです
ポジションインジケーター付でオープン/クローズの確認ができます
クランクハンドル式

SPEC

リークレート 5x10-10mbar.l / s for gasket
使用圧力範囲 1x10-10〜1000mbar
メンテナンス
サイクル
ICF70〜IC152 : 100,000回
ICF203〜ICF253 : 50,000回
ベーキング温度 弁体(OPEN) : 200℃
弁体(CLOSE) : 150℃
駆動部 : 圧空式<80℃ , 手動式<200℃
材質 本体・搬送部・ゲート部 : SUS304
ベローズ : AM350
シール材 ボンネット : 銅ガスケット
ゲート : バイトンOリング
センサー(オプション) 安全対策用近接センサー
オプション パーフロなどのOリングシール
粗引きポート(バイパス)、ベント
排気ポートの追加可

SIZE

ICF Model No. A B C D E F G H L Port
Dia.
114 GVBB-SS-CF63-M 65 68 70 107 143 158 207 160 367 63.7
152 GVBB-SS-CF100-M 69.6 68 70 146 182 222 297 160 457 102
203 GVBB-SS-CF150-M 79 70 78 204 238 306.5 407 183 590 153
253 GVBB-SS-CF200-M 84.4 70 78 245 282 382 506 183 689 200
図面

※ CADデータが必要な方は(株)スプリードまでご請求ください。

VALVE OPTIONS

Bonnet Seal Copper Gate Seal Viton
ガスケット構成:ゲート用及びシール、ボンネット用
ICF Model No.  
114GB3C411KGate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)
152GB3E411KGate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)
203GB3F411KGate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)
253GB3G411KGate Seal x1(Viton) , Bonnrt Seal x1(Copper)

お客様ご指定のフランジISO-KF(ポート付、粗引、バイパスベント排気等)のご要望を基に別途お見積致します。


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