SPLEAD Standard Chamber

ロードロックチャンバー(多目的)

型番 価格 個数 見積依頼
ICF114×6 ¥200,000
ICF152×6 ¥260,000
ICF203×6 ¥330,000

SUS304
3箇所回転フランジ
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下

カスタマイズ可