SPLEAD Chamber Standard

UHVクロスチャンバー

型番 価格 個数 見積依頼
ICF203TC
フランジ数:ICF70×4 ICF203×4
¥230,000
ICF253TC
フランジ数:ICF70×4 ICF253×4
¥250,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など