SPLEAD Chamber Standard

中型CVDチャンバー

型番 価格 個数 見積依頼
中型CVDチャンバー ¥1,500,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:VG200×2 IC152×2 ICF114×3 ICF70×3 NW25×2

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など