SPLEAD Chamber Standard

UHV・HVチャンバー(ALD・CVD)

型番 価格 個数 見積依頼
UHV・HVチャンバー(ALD・CVD) ¥330,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF203×2 ICF152×1 ICF114×2 ICF70×2 ICF34×4 ICF25×4

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など