SPLEAD Chamber Standard

UHV汎用チャンバー

型番 価格 個数 見積依頼
UHV汎用チャンバー ¥890,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF305×2 ICF152×5
ICF114×2 ICF70×9

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など