SPLEAD Chamber Standard

UHV複合型チャンバー(水冷式)

型番 価格 個数 見積依頼
UHV複合型チャンバー(水冷式) ¥1,200,000

SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
リーク量:1.33x10-11Pa以下
フランジ数:ICF203×1 下部ICF253×1
ICF152×2 ICF114×4 ICF70×4

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など