SPLEAD Chamber Standard

中型汎用チャンバー

型番 価格 個数 見積依頼
中型汎用チャンバー ¥900,000

材質:SUS304
表面処理:バフ研磨+電解研磨
フランジ数:ICF305×2 ICF203×3 ICF152×5 ICF70×6
リーク量:1.33x10-11Pa以下

カスタマイズ可
※ポートサイズ変更など